另外，浸润式DUV,和干式DUV，其中最大的区别，就是在晶圆前面，加了一层介质水。 干式DUV采用的是空气作为光线传播的介质，浸润式DUV采用的是水来做光线传播的介质，而光线在水中产生折 …

Jan 23, 2025 · 按照光源类型，光刻机可分为UV、DUV、EUV来源：硅基研究室制图 “同样的7nm芯片，用EUV跑，可能只需要40遍就能跑完，用DUV跑，可能需要90多遍，再算上产能的差距，相较于 …

DUV是目前比较成熟的方案，现阶段最高采用193nm波长的深紫外光源，被广泛应用在7nm（N7)以及7nm以前的工艺里。 伴随着工艺的继续微缩，DUV已经力不从心，所以现在无论是台积电还是三星 …

Maybe you want to ask a more specific question? What's the point of 50nm EUV if DUV can already achieve this as illustrated in my answer. There is an energy density charge transfer explosive …

工信部公开推广两款国产 DUV 光刻机，国产 DUV 光刻机在研发过程中遇到了哪些主要的技术难题？ 9月9日，工信微报微信公众号发文披露《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。

也就是说28nm光刻机，如果是指分辨率的话，中国的光刻机要在物镜系统和掩膜技术远远超越ASML才可以，最有可能的是也就是在DUV领域，中国光刻机数值孔径比ASML大很多，high NA DUV了属于是。

虽然名字上只有“极”和“深”的区别，但实际上这两种技术在原理和应用上都有显著的差异。 EUV，全称极端远紫外线，其波长为13.5纳米。 由于这种光线的波长远短于DUV，所以它能够实现更高的分辨 …

纯国产 28 纳米 DUV 光刻机什么时候可以规模化量产？ 上海微电子的 28nm DUV 光刻机 2023年底就传出完成初步开发，但到 2025 年似乎也还没看到上线大规模量产的信息

英特尔想从DUV直接跳到high NA EUV是不是一步臭棋？ DUV哪怕是浸没，光学分辨率只有38纳米，而EUV的分辨率是13纳米，是DUV足足三倍。

知乎，中文互联网高质量的问答社区和创作者聚集的原创内容平台，于 2011 年 1 月正式上线，以「让人们更好的分享知识、经验和见解，找到自己的解答」为品牌使命。知乎凭借认真、专业、友善的社区 …